光纤耦合器，上海闻奕光电科技有限公司的VFT真空光纤馈通是连接真空室内光纤的装置，如等离子体的监控。包括一个带Viton型密封圈的M12螺丝，和2个SMA光纤接头，可以方便地和光纤探头连接。由多种型号的真空通管与所有芯径的光纤匹配，从9 µm到1000 µm，而且分别有UV200~1100nm和IR400~2500nm波长型号,还可以根据客户要求定制。

1.闻奕光电提供的VFT真空光纤馈通可以将光导入或导出真空室，以实现超高真空的应用场合，例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的z终检测。

2.在隔空箱和高压应用场合下有较好的表现，真空度高达z大 10^-7 mbar ，操作温度为200 °C（定制z高达300 °C）。

3.真空室要求壁厚5-40 mm，在腔体上开一个直径12mm的圆孔即可，注意紧贴O型圈的一面尽量光洁无划痕。

4.使用光洁度高的金属或者玻璃腔体，使VFT在超高真空应用场合的表现得到提高。

5.VFT光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用，还是环境检测、药物学处理和光学涂层生产的理想工具。它6.还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸汽吸附方面，可以作为配合隔空箱、手套箱和中压装置的性能优异的通管。

7.VFT高压与低压面的终端可与SMA905连接器相连接，可以简单地与闻奕光电的光纤、光源、配件共同使用，以及本公司的光谱仪等光学设备。

8.VFT有一个M12外螺纹，可以直接拧在开好M12螺纹孔的腔体上，或可以用预备好的螺帽和垫圈旋入一个光滑的孔。装配过程非常简单，只需通过一个SMA905光纤适配器把光纤和VFT连接起来即可。

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