●在半导体合成及液晶生产上,主要有半导体等离子增强气相沉淀和反映离子刻蚀工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆的CVD制程中。
●在石油化工生产上,主要是抽取可凝性气体,或有害气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
●在制药行业上,主要用于药物的真空干燥,医药中间体回收,回收气体消毒剂等。
●在化工行业生产上,主要用于真空蒸馏及溶剂萃取回收。
●在食品行业生产上,主要用于香料、香精浓缩,包装,脱水干燥。
螺杆真空泵
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